歐傑電子能譜儀
歐傑電子能譜儀 (Auger electron spectroscopy,AES)
國立臺灣師範大學物理系李聖尉碩士生/國立臺灣師範大學物理系蔡志申教授責任編輯
歐傑電子 (Auger electron)的產生現象,最先是由法國人Pierr Auger於1924年所發現,故以歐傑電子為名。歐傑電子能譜術 (Auger electron spectroscopy,AES),是利用一電子束(能量約為 3 keV 或 5 keV )聚焦成微米大小打在樣品表面上,使該樣品表面原子產生歐傑電子,藉由半球形能量分析儀 (Concentric Hemispherical Analyzer,CHA) 捕捉分析歐傑電子的特徵動能,即可研判表面元素成分及其化學態。此外,歐傑電子的產生涉及三個電子軌域,因此有很好的鑑別特性,因而使歐傑電子能譜術成為表面分析的利器[1]。